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產品名稱:
HUGLE藤宮全自動清潔系統SC-8 杉本
產品型號:
產品展商:
HUGLE藤宮
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HUGLE藤宮全自動清潔系統SC-8
HUGLE藤宮全自動清潔系統SC-8 杉本
的詳細介紹
HUGLE藤宮全自動清潔系統SC-8
該系統是作為CRD-4500的后續系統開發的，是一種自動清潔系統，可以處理多達8個“晶圓托架和BOX。清潔目標設置在專用托盤中，并在每個處理腔室中進行有效的清潔/干燥。使用Hugle獨特的特殊滾輪系統運送鋼絲托盤，并采用Hugle顆粒措施。
兼容各種容器·節省空間/節能設計·Hugle獨特的超精密清洗·高效熱風刀烘干，實現完全烘干·提供多種選擇·符合SEMI S2，S8和CE標準
規范
主機：2630（寬）x 1170（深）x 1706（高）毫米（不包括突出部分）