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產(chǎn)品名稱:
橢圓偏光膜厚量測儀（自動(dòng)）
產(chǎn)品型號:
cp-008
產(chǎn)品展商:
OTSUKA大冢光學(xué)
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):611
產(chǎn)品文檔:
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橢圓偏振術(shù)量測紫外光到可見光波長橢圓參數(shù)。
0.1nm以上奈米級光學(xué)薄膜厚度量測。
400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜。
可自由變換反射量測角度，得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
非線性*小平方法解析多層膜、光學(xué)常數(shù)。
橢圓偏光膜厚量測儀（自動(dòng)）
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
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橢圓偏振術(shù)量測紫外光到可見光波長橢圓參數(shù)。
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0.1nm以上奈米級光學(xué)薄膜厚度量測。
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400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速量測橢圓偏光光譜。
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可自由變換反射量測角度，得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
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非線性*小平方法解析多層膜、光學(xué)常數(shù)。
產(chǎn)品規(guī)格
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膜厚量測范圍
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0.1 nm ~
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波長量測范圍
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250~800 nm(可選擇350~1000nm)
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感光元件
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光電二極管陣列512ch(電子制冷)
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入射/反射角度范圍
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45~90°
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電源規(guī)格
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AC1500VA(全自動(dòng)型)
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尺寸
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1300(H)×900(D)×1750(W)mm
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重量
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約350kg(全自動(dòng)型)
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應(yīng)用范圍
應(yīng)用范圍
■半導(dǎo)體晶圓
?電晶體閘極(Gate)氧化薄膜、氮化膜，電極材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻劑光學(xué)常數(shù)(波長色散)
■化合物半導(dǎo)體
?AlxGa (1-x) As多層膜、非結(jié)晶矽
■平面顯示器
?配向膜
?電漿顯示器用ITO、MgO等
■新材料
?類鉆碳薄膜(DLC膜)、超傳導(dǎo)性薄膜、磁頭薄膜
■光學(xué)薄膜
?TiO 2、SiO 2、多層膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷領(lǐng)域
?g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)等于各波長的n、k值評價(jià)
應(yīng)用范例
非線性*小平方法比對NIST標(biāo)準(zhǔn)樣品(SiO 2)膜厚精度確認(rèn)